无尘洁净室的气流速度/换气次数，一直是洁净室设计中受到关注的问题，随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等，对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守，已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决，随着FFU的不断改进，对是否采用 FFU回风系统也是个热点：悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来，受到关注。
在无尘车间的施工完成后，为了证明达标，温州无尘车间，一般都需要对无尘车间中的洁净度进行测试。洁净度是指空气环境中空气所含尘埃量多少的程度。在一般的情况下，无尘车间施工，是指单位体积的空气中所含大于等于某一粒径粒子的数量。含尘量高则洁净度低，含尘量低则洁净度高。由此可见，洁净度的测试在无尘车间显得有多重要。
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十万级无尘车间的地面应整体性好、平整、耐磨、耐撞击、不易积聚静电、易除尘清洗，地面垫层应配筋，潮湿地区应做防潮处理。
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技术夹层为轻质吊顶时，设置检修通道。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送回风系统相适应并易于除尘。
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